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品牌介绍
ADL Analoge & Digitale Leistungselektronik GmbH 是一家电源和发电机以及用于特殊工业应用和研究机构的电力电子器件的开发商和制造商，1992 - ADL 在黑森州里德施塔特成立，2022 - 公司成立30周年。
ADL溅射技术代表着30多年的产品和镀膜设计经验和专业知识。这种**的专业知识使ADL成为全球公认的各种薄膜涂层合作伙伴 - 用于显示器，箔，玻璃，硬涂层，工具，装饰表面，微电子等等。
ADL提供从原型到小批量生产再到溅射技术大批量产品的解决方案，以适应设备制造商和最终客户的需求，尤其是最终产品。
因此，ADL以客户为导向，对新工艺和工艺参数以及变化做出非常快速和灵活的反应，并最大限度地支持其客户。
客户满意度是我们良好的咨询能力的结果，与工厂和阴极设计以及与我们的创新电源和发电机相互作用的涂层开发和质量有关。
产品分类
直流电源：GS 05 – GS 30、HX 900 - HX 1400；单极性脉冲发生器3.SD 30 - SD 300、HXD 901 - HXD 1401；双极性脉冲发生器：SB 150 和 SB 300；离子源电源、辅料
1.直流电源 GS 05 – GS 30
这些紧凑型电源是为生产工厂和实验室中的小型磁控管开发的。简单和安全的操作使这些电源非常灵活，适用于许多过程。电弧处理可根据不同的工艺参数自动调整，因此无需编程。风冷装置设计用于手动和远程控制操作，可安装在19 英寸机架中。
l 输出功率0.5 – 3 kW
l 风冷
l 19/3 <>“ 表壳，<> HU
l 可互换接口
l 显示电流、电压和功率
l 通过前面板手动操作
l 自动电弧处理
2.直流电源 HX 900 - HX 1400
对于非反应过程，HX 900 – HX 1400 是高度可靠且经济的电源。模块化结构为客户提供了针对不同应用和要求的灵活配置。非常快速的电弧处理可自动检测重要的工艺参数，并立即适应不断变化的情况。无需用户交互或编程，简化了不同目标的初始操作和转换。高效的水冷即使在非空调环境中也能确保较长的使用寿命。
l 输出功率 90 kW - 140 kW
l 水冷
l 电磁阀控制
l 适用于长达 4 米的阴极的非反应性涂层工艺
l 非常快速地消除氧化
l 自动电弧管理（高达
l 40，000 个电弧/秒）
l 自动功率补偿
l 高效率（标称功率为 95%）
3. 单极脉冲发生器SD 30 - SD 300
结合ADL直流电源，脉冲发生器产生单极性脉冲。脉冲发生器以 20 kHz 的固定频率工作。因此，使用外部信号发生器时，该频率可以在1 kHz至40 kHz范围内变化。脉冲发生器配有自动电弧抑制功能。行程级别和休息时间的参数会根据特定过程自动调整。根本不需要用户编程。对于自动同步，可以通过控制电缆连接多个发电机。在这种情况下，脉冲发生器会自动切换到外部同步。
l 输出功率 3 kW， 15 kW，
l 30 kW
l 并联运行高达 240 kW
l 自动电弧处理
l 风冷
l 紧凑型设计，19/3 <>“ - <> HU
l 浮动输出
4. 单极性脉冲发生器HXD 901 - HXD 1401
HXD 901 – HXD 1401 是一种非常方便的解决方案，它结合了高功率、易于操作和稳定的过程。模块化设计的单极性脉冲发生器针对长达 4 米的阴极的反应涂层工艺进行了优化。发生器全自动识别所有相关工艺参数，并独立调整其电弧检测和电弧擦除。要开始操作或更改目标，无需手动进行调整。强大的水冷保证了最高的可靠性 - 即使在非空调环境中也是如此。
l 输出功率 90 kW -
l 140 kW
l 水冷
l 电磁阀控制
l 适用于长达 4 米的阴极的反应涂层工艺
l 使用电弧关键目标实现稳定加工
l 全自动电弧管理（0.3 mJ / kW）
l 自动功率补偿
l 反向脉冲快速放电
5. 双极性脉冲发生器SB 150 和 SB 300
这些发生器既可用作产生对称交流电流的中频发生器，也可用作产生不对称方波脉冲的双极性脉冲发生器。使用特殊的功率比控制器，双磁控管的目标寿命可以精确对称。此外，还可以使用不对称脉冲功率控制两种不同的靶材。功率比控制器通过脉宽调制（PWM） 自动设置脉冲时间。这些装置以 20 kHz 的固定频率工作。发电机具有自动电弧抑制功能。行程水平和休息时间的参数会自动调整到所选过程。不需要用户编程。对于自动同步，可以通过控制电缆连接多个发电机。在这种情况下，脉冲发生器会自动切换到外部同步。
l 输出功率 15 kW， 35 kW， 交流
l 并联运行高达 280 kW
l 功率比控制器
l 自动电弧处理
l 自动同步
l 水冷
l 非常紧凑的设计
6. 离子源电源
对于离子源（Kaufmann 和 ECR）的操作，可以使用特殊的电源。根据要求，这些装置还可以配备其他输出电压或输出功率。所有电源均具有 AS 4 接口、Profibus、EtherCat 或 RS232/484 接口。
l 在离子束和等离子体工艺技术中的广泛应用
l 蚀刻、溅射等等
l 创新应用，例如微电子、光学和传感器
应用行业
应用于工业