AEROLAS

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品牌介绍：AEROLAS

公司简介：

AeroLas 高科技公司于 1997 年在慕尼黑附近的翁达赫治 (Unterhaching) 成立，是慕尼黑工业大学的衍生公司。从一开始，它就是空气静压轴承（空气轴承）和空气轴承驱动系统开发的创新驱动力之一。

由经验丰富的工程师、物理学家和计算机科学家组成的团队专注于具有集成功能和高性能驱动器的解决方案。目标市场尤其是半导体、电子和平板生产以及测量技术和光学行业。

作为技术带领着，AeroLas 现在已将其核心能力独特地与客户特定的系统解决方案结合起来。借助多年的经验和特殊的模拟工具，这些产品可以在很短的开发时间内投入批量生产。

AeroLas 独特的技术地位通过众多基础和应用专利得到长期保障。这些专业知识使AEROLAS能够开发出具有可持续增长机会的广泛产品。其范围从单个部件的空气轴承到大系列的功能解决方案，再到具有自己的驱动技术的复杂的高性能驱动器。

产品类型：

Automobil-Technik

Luftgelagerter Messerantrieb

AeroLas 的空气轴承非常适合小行程的高频运动。即使存在这样的运动，这意味着滚珠/滚柱轴承会产生大量磨损，但AEROLAS的驱动系统的使用寿命实际上是无限的。通过针对客户的紧凑设计开发，AEROLAS以最 佳方式将发动机的动力转化为动力。

• 行业：汽车制造

• 应用：生产（切割泡沫座垫）

• 活动：客户定制开发、制造/组装

• 中心：+/- 4 毫米

• 工作频率：50Hz

• 引擎：柱塞线圈

• 空气储存：用磁偏压静态确定

• 紧固：机械臂

Flat Panel-Technik

Pr aezisions-Chuck

平面度为 5 µm、有效面积为 0.72 m²、高度仅为 80 mm 的卡盘：AeroLas 解决了这项任务。空气和真空平行集成到卡盘表面，以便能够在亚微米范围内横向定位玻璃基板。高度灵敏的升降销直接集成到卡盘中，用于无损放置和移除玻璃基板。具有更大活动面积和集成 x/y/phi 驱动器的下一代产品已经在设计中。

• 行业：平板显示器生产

• 应用：激光加工

• 活动：定制开发、制造/组装系列

• 卡盘几何形状：长/宽/高：980mm x 730mm x 80mm

• 有效卡盘面积/平面度：920 毫米 x 732 毫米/5 微米

• 功能：同时使用空气和真空

• 升降销（穿上/脱下）：集成气动活塞

Halbleiter-Technik

Luftlagerung fuer Inspektionsger aet

用于测量晶圆和平板的芯片必须被非常精确地引导并且不接触表面。该芯片直接集成到存储区域中。其距表面距离的最 大变化，即空气轴承间隙高度的波动小于0.5μm。放置设备时，空气轴承和芯片不得接触被测表面。气动活塞用作上下运动的执行器，出于可重复性的原因，该活塞也是空气轴承。空气轴承上的预载力以及轴承间隙高度通过气压进行调节。

• 行业：半导体/平板显示器生产

• 应用：晶圆/平板检查

• 活动：客户定制开发、制造/组装

• 空气轴承几何形状：长/宽/高：37mm x 27mm x 9mm

• 轴承间隙高度（运行）：10微米

• 轮毂执行器（空气轴承的放置/拆卸）：8毫米

• 执行器接触力：可调至 < 0.1 N

Linearantriebe

Pr aezisions-Messtisch

整个测量台的定制开发和 3 个原型的生产仅用了 15 个月的时间。其精致的结构可在 300 mm 芯片生产中实现最高精确度的透射光测量。空气轴承经过专门设计，可实现低空气消耗和最 大刚性。

• 行业：半导体生产

• 应用：入射光和透射光测量（晶圆、掩模、CD 等）

• 活动：定制开发、制造/组装系列

• 出行路线：340毫米×330毫米

• 准确性：整个行程范围内 < 1.5 nm

• 驱动器：摩擦轮驱动

• 最 大加速度：0.25米/秒²

Medizin-Technik

Luftgelagerter Computer-Tomograph

具有高转速（>5.5Hz/330rpm）、制造成本低、噪音低、转子自由直径大（>1m）、转子和机座重量轻、转子充分可倾斜性和高可靠性等综合优点AeroLas 的专利解决方案。也可以采用皮带传动代替直接传动的版本。

• 行业：医疗技术/安全技术（行李控制）

• 应用：用于计算机断层扫描的龙门架（框架/转子）

• 活动：定制开发、制造/组装系列

• 转速（转子）：高达 > 5.5 Hz (330 rpm)

• 转子倾斜：+/- 30°（旋转速度无限制）

• 移动质量/有用质量（转子）：> 900 公斤/约 500 公斤

• 自由转子直径（内部）：1,065毫米

• 引擎：铁基直驱（轴向布置）

• 贮存：静态确定的轴向磁预紧力（驱动）

Textil-Technik

Luftgelagertes Ringspinnen

首个原型已经可以纺纱了。线张力的简单且可变的调节已经在这些测试中展示了高质量的潜力。与传统解决方案相比，其目的是显着提高速度，从而提高生产率。更大直径的版本（自由直径约 190 毫米）也已经生产出来。

• 行业：纺织品生产

• 应用：环锭纺纱（纱线生产）

• 活动：定制开发、制造/组装系列

• 最 大速度：> 35,000 1/分钟

• 设置线张力：气动（变量）

产品应用领域：

汽车、半导体、医疗、太阳能、航天、纺织

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