BOC EDWARDS
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品牌介绍:BOC EDWARDS
Edwards是真空和减排领域的全球带领者。BOC EDWARDS很自豪能够引领行业,不断突破科学界限,提供日常生活中不可或缺的创新产品,与客户合作,不断制定新标准。
在Edwards,BOC EDWARDS致力于最 大限度地减少半导体制造对环境的负面影响,并努力最 大限度地减少对BOC EDWARDS现在和未来所生活的自然界和环境的影响。
Edwards拥有100多年的悠久历史,是全球数万名关键应用领域的首选合作伙伴。从发电到钢铁生产,再到空间模拟和高能物理研究的挑战性环境,各个领域都需要真空。
无论何处,只要您有真空需求,您就会发现Edwards一直处于领先地位。从药品到手机,从电脑到咖啡豆,再到汽车和化学品,BOC EDWARDS为能够改变人们的生活而感到自豪。BOC EDWARDS以负责任的态度开展这项工作,确保BOC EDWARDS可持续地创新,同时帮助BOC EDWARDS的客户保持竞争优势和很好运营。
Edwards是阿特拉斯·科普柯集团(NASDAQOMX斯德哥尔摩:ATCOA、ATCOB)旗下子公司,该集团是一家瑞典的工业生产力解决方案提供商。
产品类型:
真空泵
CDX化学干式真空泵

高吞吐量工艺:
当您从事关键应用时,您需要一台可靠的泵。CDX泵是一款坚固耐用的高性能机器,对工艺故障具有很高的耐受性,从大气到极限真空,提供值得您信赖的持续性能。
专为恶劣环境和工艺而设计:
Edwards的标准间接冷却确保出色的温度控制,包括防止热冲击和腐蚀。该泵具有出色的液体处理能力,并且耐灰尘和颗粒,使其成为众多化学、制药和石化应用的首选。
特定应用模块:
Edwards的一系列预制模块可帮助您满足特定应用需求。单一设计包括多种应用选项,可用作独立泵或完整系统,包括用于提高泵送能力的机械增压器。
于维护:
CDX旨在最 大限度地减少您的计划停机时间,从生产线维护到大修。现场维护和清洁选项包括更换轴承和密封件以及清洁阻火器,同时最 大程度地减少对生产线的干扰。
节省您的运营成本:
用于轴承和转子短轴的冷却和过滤油可避免渗碳和退化,从而允许您通过增加平均维护间隔时间和延长泵的整体寿命来节省成本。
技术规格:
| 单位 | 50/60赫兹 |
最 大抽速 | 立方米/小时 | 900 |
立方英尺/小时 | 530 |
10mbar(7.5Torr)下的容量 | 立方米/小时 | 900 |
立方英尺/分钟 | 530 |
极限真空 | 毫巴 | 0.005 |
托尔 | 0.004 |
最 大背压-标准 | 毫巴 | 1150 |
磅/平方英寸 | 2 |
10mbar(7.5Torr)下的功耗 | 千瓦 | 17.1 |
马力 | 23.2 |
标准电机(380-460±10%,3相,50Hz) | 千瓦 | 三十 |
标准电机(380-460±10%,3相,60Hz) | 马力 | 40 |
冷却水流量(可调) | 升/分钟 | 10-20 |
加仑分钟4 | 2.64-5.28 |
冷却水供水温度范围 | 摄氏度/华氏度 | 5-35摄氏度/41-95华氏度 |
冷却水供水压力 | 巴尔格 | 02-10 |
磅/平方英寸 | 29-145 |
密封清洗流量(最 大),调节至0.3-0.5barg(5-7psig) | 升/分钟 | 24 |
立方英尺/分钟 | 0.85 |
密封清洗供给压力(最小-最 大) | 巴尔格 | 02-10 |
磅/平方英寸 | 29-145 |
噪音(带排气消声器时最 大) | 分贝(声级) | 82 |
重量(含框架和标准电机) | 公斤 | 1710/1705 |
磅 | 3765/3745 |
过程连接,入口 | 美国标准/德国标准 | 6英寸/DN150 |
过程连接、出口 | 美国标准/德国标准 | 3英寸/DN80 |
泵送机制 | 变螺距螺杆 |
测量与控制
主动式皮拉尼压力计

主动式皮拉尼真空计(APG200)适用于所有真空市场,从可以利用减小的尺寸和灵活输出的分析仪器,到可以利用新的接口和光环更好地维护系统的半导体,再到可以利用本地压力指示来帮助监控远离主接口的实验的研发。
360°LED光环压力指示器
尺寸紧凑
长丝
集成过滤器
兼容嵌入式
15-48V宽范围电源供电
数字/模拟
设定点继电器
泄漏检测器
ELD500

分析仪器:
半导体:
装载锁
转移
计量学
光刻
PVD(物理气相沉积)
等离子蚀刻
植入源
CVD(化学气相沉积)
平板显示器
引领
研究与开发:
工业的:
工业泄漏检测
电子束焊接
灯具及灯管制造
玻璃涂层
刹车管路和空调
制冷系统制造商
热处理
力量
真空炉
EdwardsELD500全自动泄漏检测器已经到货。该设备设计用于在广泛的应用中进行快速、准确的泄漏检测,并且完全移动,配有易于使用的控制界面。EdwardsELD500是您在泄漏检测中的完美合作伙伴。
产品特点:
低拥有成本
即插即用的移动解决方案
可定制适用于任何应用
高稳定性和准确性
技术规格:
规格项 | ELD500 | ELD500DRY | ELD500FLEX |
最低可检测氦气泄漏率 | 5×10−105\times10^{-10}5×10−10mbarl/s | 3×10−103\times10^{-10}3×10−10mbarl/s | 5×10−105\times10^{-10}5×10−10mbarl/s |
真空操作 | 是 | 是 | 是 |
探测器操作 | 是 | 是 | 是 |
最 大可测氦气泄漏率 | S7×10−9S7\times10^{-9}S7×10−9mbarl/s | S7×10−9S7\times10^{-9}S7×10−9mbarl/s | S5×10−8S5\times10^{-8}S5×10−8mbarl/s |
真空操作测量范围 | >0.1>0.1>0.1mbar | >0.1>0.1>0.1mbar | >0.1>0.1>0.1mbar |
最 大允许进气压力 | 1.5mbar | 1.6mbar | 1.1mbar |
抽气速度(50Hz/60Hz) | 2.5/3.3m³/h | 1.6/1.8m³/h | N/A |
氦气抽气速度(细模式) | 4l/s | 3.1l/s | 3.1l/s |
泄漏率信号时间常数 | <1s | <1s | <1s |
启动时间 | 2-4min | 2-3min | 2-2.5min |
功耗 | 240VA | 235VA | 2200VA |
进气法兰 | NW25 | NW25 | NW25 |
保护等级 | IP54 | IP54 | IP54 |
尺寸(WxHxD) | 495x456x314mm | 495x456x314mm | 495x456x314mm |
重量 | 40kg | 35.5kg | 30kg |
阀门
LCPVEK电磁操作隔离阀

铝制LCPVEK阀门专为需要紧凑、简单的电磁操作阀来控制气体流量的真空应用而设计。这些经济型阀门非常适合多种用途,从简单的实验室泵隔离到OEM真空系统集成和设计。
该阀门具有两个端口,其西北法兰彼此成90度,可以任意方向安装,使其在真空管道和腔室入口应用中均有效。
精心设计的螺线管功率控制和真空隔离组件能够以实惠的价格提供高效的磁驱动和最 佳的真空性能。
经济的设计
电动驱动
低功耗要求
电子升压电源
高效磁性设计
五金及配件
NW法兰(ISO-KF)组件

NW接头,也称为ISO-KF,是低真空至高真空范围内许多应用的行业标准。它们是实现可靠的经济高效的性能的理想选择,压力低至10-7mbar,适用于从轻型到重型的各种应用。简单的紧固方法意味着系统可以轻松组装,并快速实现防漏真空密封。
按照ISO2861和DIN28403标准制造
公称直径10至50毫米
与弹性体或成型铝密封件一起使用
根据应用、访问、便利性和成本选择夹具类型
适用于高真空应用:压力>10-8mbar
产品应用领域:
石化、制药、平板显示器、热处理、工业涂层、工业干燥、锂离子电池制造、冶金、发光二极管、发电、半导体加工、真快脱气
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