COMETGROUP

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品牌介绍：COMETGROUP

Comet 是一家全球领先的瑞士科技公司。75 多年来，COMETGROUP一直致力于开发和生产基于 X 射线和射频的创新高科技组件和系统。COMETGROUP始终能够利用全球趋势和发展，不断发展壮大。

凭借 Comet 品牌的创新产品开发，COMETGROUP始终在挑战物理极限。COMETGROUP高素质的专家与欧洲、美国和亚洲的客户以及全球知名研究机构密切合作。这为COMETGROUP量身定制了解决方案，为COMETGROUP的客户和合作伙伴创造了持久的增值。

Comet Holding AG 的董事会由七名成员组成，自 2024 年起由董事长 Paul Boudre 领导。集团最高运营管理团队是执行委员会。

产品类型：

射频发生器

13.56 MHz Synertia® 射频发生器

特征

• 功率精度和重复性

• 多级脉冲（四个用户可定义的级别）

• 每级可定制频率调节

• 多功能电弧管理

• 数字计量和直观的图形用户界面

• 先进制造技术的数字系统控制

好处

• 无缝集成至工艺系统

• 超快等离子工艺控制

• 更严格的重复性可提高产量

• 快速可配置脉冲上升/下降时间

• 一致的工艺和晶圆级均匀性

技术数据

Synertia ® 射频功率传输平台

Synertia ® 射频功率传输平台

Synertia® 是 Comet 的全新集成式射频功率传输平台，可实现前所未有的功率控制。该系统可让用户管理多层下一代原子级等离子工艺的复杂性，而这些工艺对于内存和逻辑微芯片的生产必不可少。Comet 的射频功率子系统支持等离子室中的颠覆性工艺技术，使晶圆处理工具能够应对未来的工作负载。

Synertia® 被描述为1 + 1 = 3

Synertia® 是 RF 发生器和 RF 匹配网络之间的强大协同作用。在 Synertia® 中，发生器和匹配的独特专利控制以最高速度交互。这些可操作的见解使比以往更复杂的等离子应用成为可能。

Synertia® 平台由具有多种频率和功率水平的射频发生器和射频匹配网络组成。

阻抗匹配网络

Synertia ®射频匹配网络

专为速度、准确性、精确度和可重复性而打造。

Synertia® RFM 与 Synertia® RFG 具有强大的协同作用。匹配网络中的精确传感器和增强的调谐算法可确保等离子工艺的一致性和稳定性。

特征

• 精确且可重复的输入/输出传感器

• 先进的多级脉冲，用户可以设置自定义调整参数

• 能够与各种调整元素组合使用

• 机载监控和诊断协助预防性维护

• 超宽带传感器

好处

• 通过实时信号处理和数据收集持续改进流程

• 通过全数字化和可定制的控制实现很好的过程控制和可重复性

• 采用增强型调谐算法，实现一致、稳定的射频等离子体

• 通过提高 MTBF 和增强可靠性来降低总体拥有成本

• 凭借射频专业知识、先进的建模/虚拟原型和丰富的射频调谐电路库实现稳健的设计

技术数据

• 频率:400 千赫至 100 兆赫

• 输入功率:600 W 至 20 kW

• 输出电压/电流:最 大电流 (~150 A RMS )、 最 大电压 (10 kV峰值)

• 脉冲:   单层、双层和多层

• 用户界面:EtherCAT®、RS232、模拟、高级用户界面（ProfiNet® 和 DeviceNet® 即将推出）

• 可选传感器功能：Vpp、Vdc 和其他

真空电容器

锂离子

特征

• 最小的尺寸和坚固的设计

• 非常高的自谐振频率

• 低 C最小值和低扭矩

• 高电压相对小尺寸

• 集成法兰，易于安装

• 适合特殊用途的防磁丝杠

应用

• 半导体

• 平板显示器

技术规格

• 电容 C最 大范围：30 — 125 皮法

• 上升范围 ：5 - 20千伏

• 13.56 MHz 时最 大电流 I RMS：13 - 36 安培有效值

• 电感 ：≤ 8 纳亨

• 直径： 35 毫米

• 高度： 105 - 127 毫米

• 冷却系统：对流

• 符合RoHS规定：可用的

控制电缆

RC 1000

关键性能参数

• 电缆：屏蔽

• 长度：10 米

• 连接器 A 侧：D-Sub DE-9 公头

• 连接器侧B：D-Sub DE-9 母头

产品应用领域：

• 半导体

• 平板显示器

• 电池

• 医疗和工业

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